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工业超纯水处理设备  

工业超纯水设备工程

一.工业超纯水设备工程介绍

 

超纯水:既将水中的导电介质几乎完全去除,又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。

纯度极高的水,电阻率大于18MΩ*cm,或接近18.3MΩ*cm极限值。在集成电路工业中用于半导体原材料和所用器

皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。集成电路的集成度越高,线宽越窄,对水质的要求也越高。

目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业等级,分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、

0.5MΩ.cm,以区分不同水质。此外,其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使

超纯水。如今超纯水已在生物、医药、汽车等领域广泛应用。

 

二.工业超纯水设备的特点  

 

工业超纯水设备通常由多介质过滤器,活性碳过滤器,钠离子软化器、精密过滤器等构成预处理系统、RO反渗透主

机系统、离子交换混床(EDI电除盐系统)系统等构成主要设备系统。原水箱、中间水箱、RO纯水水箱、超纯水水

箱均设有液位控制系统、高低压水泵均设有高低压压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控

器,真正做到了无人值守,同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法,使工业超纯水设备与其它同类

相比较,具有更高的性价比和设备可靠性。 


三.电子行业制备超纯水的工艺大致分为以下几种


1、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式,其基本工艺流程为:原水→沙炭过滤器→精密过滤器→

原水箱→反渗透设备→混床(复床)→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点

2、采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式,其基本工艺流程为:原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱

→阳床→阴床→混床(复床)→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点

3、采用反渗透水处理设备与电去离子(EDI)设备进行搭配的的方式,这是一种制取超纯水的最新工艺,也是一种环

保,经济,发展潜力巨大的超纯水制备工艺,其基本工艺流程为:原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透

设备→电去离子(EDI)→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点

 

四.工业超纯水设备的应用领域

 

1、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路;

2、超纯材料和超纯化学试剂;

3、实验室和中试车间;

4、汽车、家电表面抛光处理;

5、光电产品;

6、其他高科技精微产品。

时间:2018-04-19

 

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